與在主管中進行測量的在線式傳感器不用，MEMS傳感器是在旁路管道中進行測量的增持能力。主管道中的層流元件產(chǎn)生一個必須的壓差積極拓展新的領域，使小部分流量進入旁路管道品率。旁路管道內(nèi)璧上裝有帶膜的硅芯片力度，用于測量流量文化價值。采用MEMS傳感器技術技術的開發，在這塊膜上有一個加熱電阻和兩個對稱的溫度傳感器（分別位于上游和下游）紮實。如使加熱電阻保持在一個恒定溫度，則兩個溫度傳感器的電壓差即可用于測量旁路通道內(nèi)流過芯片的氣體的質(zhì)量流量初步建立。在該溫度傳感器的熱量低、與介質(zhì)直接接觸供給，因此具有許多特定的優(yōu)勢的方法，其中之一就是對于流量變化的響應極快。帶MEMS傳感器的MFC的響應時間只有百毫秒進行探討，且靈敏度高落到實處，即使流量很小時也是如此。